ZNP6000SF6���wй©���ܱO(ji��n)�؈�ϵ�y(t��ng)�S��

*�Ĝyԇԭ����ϵ�y(t��ng)����•��ԭ�����ɶ��������r�ھ��y��SF6й©���w�������˷��˂��y(t��ng)�y��������ؓ늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�����܉�ʴ_�õ����w��SF6������ 
�߿ɿ��ԣ�ϵ�y(t��ng)�����p���̎����������Ч�˷��˜ض�����Ȍ��y���Y����Ӱ푣������˂��y(t��ng)�a(ch��n)Ʒ��ȱ���� 
�����������ܣ��O(ji��n)��ܛ������������SF6���w����׃��څ��������Ч�����\���O��Ġ�B(t��i)���������A���������@Ҳ�ǂ��y(t��ng)���Ԯa(ch��n)Ʒ�o���������� 
���ؙz�y���ܣ���Ҫᘌ�SF6���wй©��ȱ����r�M�Йz�y�������Мض�����ȵȭh(hu��n)����(sh��)��(j��)���o���z�y������*���ϡ�늘I(y��)��ȫ����Ҏ(gu��)�̡�Ҫ���� 
���ڬF(xi��n)���󾯼��g��΢���z�y���g�ܰl(f��)�����ڬF(xi��n)����������ָʾ���wй©λ�������r֪ͨΣ�U���c���ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o�\���O�䡣 
�F(xi��n)�������OӋ�� һ����|�B�����вɼ��������C���ɷ����ɽM�������кܸߵĬF(xi��n)���m������ 
���c�M�W(w��ng)�z�y�� zui��128�cͬ�r�z�y���M��F(xi��n)���h(hu��n)����Ҫ����ߙz�y�ɿ����� 
�b�y���b�أ�ϵ�y(t��ng)zui�����И˜ʽӿ�����(sh��)��(j��)��ͨ�^RTU���͵��h��������������������Ҳ��ֱ���h�̲�ԃ������ϵ�y(t��ng)�����F(xi��n)�b�y���b�ع��ܡ� 
�O(ji��n)��ܛ�������x�������Д�(sh��)��(j��)�M�B(t��i)���D�νM�B(t��i)��������������(sh��)��(j��)������vʷ��(sh��)��(j��)��ԃ�ȹ����� 
�L�����OӋ�� ������Æ�Ƭ�C�Ĺ����`��������������ȡ�gЪʽ�����y�����������˂������Ĺ�����(w��n)���Ժ�ʹ�É����� 
�vʷ��(sh��)��(j��)ӛ䛺Ͳ�ԃ�����C���д�������(sh��)��(j��)�惦�����ɴ惦2�ꔵ(sh��)��(j��)��ͨ�^�Pӛ����X�����O�M�п�ݲ�ԃ�� 
�t��O(ji��n)ҕ���ܣ����x�����z�y�����ˆT�M�빤���������Ԅ��Z����ʾ���r�z�y�Y�����ӏ��F(xi��n)�������ˆT��ֱ�^���X�� 
��S�o�OӋ�� �M�ĵ�늚��OӋ�����C�o���{��(ji��)�������ߵȼ���*��Ԫ�����x������(y��u)���Ŀ��ɔ_������ 

���g����(sh��) 
�Ŀ ָ�� 
�y������ 0��30000ppmv 
���c ���ڜy���������O����Ĭ�J1000ppmv 
�����`�� ±5%FS 
�؏����`�� <5%FS 
���cƯ�� <5%FS 
����Ư�� <5%FS 
�z�y��� 0��25% 
�����Ȉ��c 18% 
����y������ <0.4%,O2��21%�r 
�ضȜy������ -25��~+99�� 
��Ȝy������ 
0��99%RH